產品介紹

Digital Gradient Filter
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DGF

產品說明
產品介紹與應用:
Improve Slitu uniformity to meet target.
Applied Tool: ASML PAS5500/ 550 or 700 (DUV), 200 or 400 (i-line)

競爭優勢:
經過TSMC 驗證通過
功能說明

數位梯度濾光片

patterned coating
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