제품 정밀 광학
DGF
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特色
제품 소개 및 적용:
Improve Slitu uniformity to meet target.  Applied Tool: ASML PAS5500/ 550 or 700 (DUV), 200 or 400 (i-line)

경쟁 우위:
TSMC 검증 통과

설명 명세서

제품 소개 및 적용:

Improve Slitu uniformity to meet target. 
Applied Tool: ASML PAS5500/ 550 or 700 (DUV), 200 or 400 (i-line)

 

경쟁 우위:

TSMC 검증 통과

 

디지털 그래디언트 필터

 

 

 

 

 

 

 

 

 

 

 

 

 

 

 

 

 

 

 

 

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