塗布(Coating)
自動塗佈機
適用產品尺寸: 6, 8, 12吋晶圓、玻璃

曝光(Exposure)
自動曝光機
適用產品尺寸: 6, 8, 12吋晶圓、玻璃

顯影(Development)
自動顯影機
適用產品尺寸: 6, 8, 12吋晶圓、玻璃

濕式蝕刻(Wet etching/Stripping)
批次式濕式蝕刻機
適用產品尺寸: 6, 8, 12吋晶圓、玻璃

乾式蝕刻(Dry etching/Plasma)

常壓電漿蝕刻機、自動電漿蝕刻機
適用產品尺寸: 6, 8, 12吋晶圓、玻璃

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塗布(Coating) 自動塗佈機 適用產品尺寸: 6, 8, 12吋晶圓、玻璃

曝光(Exposure) 自動曝光機 適用產品尺寸: 6, 8, 12吋晶圓、玻璃

顯影(Development) 自動顯影機 適用產品尺寸: 6, 8, 12吋晶圓、玻璃

濕式蝕刻(Wet etching/Stripping) 批次式濕式蝕刻機 適用產品尺寸: 6, 8, 12吋晶圓、玻璃

乾式蝕刻(Dry etching/Plasma)

常壓電漿蝕刻機、自動電漿蝕刻機 適用產品尺寸: 6, 8, 12吋晶圓、玻璃

塗布(Coating)
自動塗佈機
適用產品尺寸: 6, 8, 12吋晶圓、玻璃

曝光(Exposure)
自動曝光機
適用產品尺寸: 6, 8, 12吋晶圓、玻璃

顯影(Development)
自動顯影機
適用產品尺寸: 6, 8, 12吋晶圓、玻璃

濕式蝕刻(Wet etching/Stripping)
批次式濕式蝕刻機
適用產品尺寸: 6, 8, 12吋晶圓、玻璃

常壓電漿蝕刻機、自動電漿蝕刻機
適用產品尺寸: 6, 8, 12吋晶圓、玻璃