半導體設備 半導體設備服務
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特色
耀穎光電不僅深耕精密光學與黃光製程領域,也擁有完善的 CNC 精密加工設備與團隊,搭配豐富的 半導體製程經驗,可為客戶提供 半導體設備用零組件設計與製作,支援從加工到代工服務,應用於設備驗機與實機測試階段。

耀穎光電不僅深耕精密光學與黃光製程領域,也擁有完善的 CNC 精密加工設備與團隊,搭配豐富的 半導體製程經驗,可為客戶提供 半導體設備用零組件設計與製作,支援從加工到代工服務,應用於設備驗機與實機測試階段。

服務內容:

  1. 半導體設備零組件製作
    • CNC 加工製作高精度零件
    • 應用於 EUV/DUV 曝光機、塗佈/顯影機、蝕刻設備等
  2. 特殊零件與材料開發
    • 光阻瓶瓶頭(Resist Bottle Nozzle)客製加工
    • E-Chuck(靜電吸盤)表面修整與加工補償
  3. 黃光代工與驗機用 PR 製作
    • 提供 光阻(PR)塗佈、曝光、顯影等流程,支援設備廠商進行製程模擬與實機測試
    • 應用於設備交機前品質驗證、樣品產出與評估

應用場景:

  • 半導體設備製造商的 驗機樣品製程支援
  • 光學設備模組開發階段所需的 零件客製與加工整合
  • 客戶試產或開發樣品所需的 黃光代工與精密加工並行流程

 耀穎光電提供整合式的黃光製程 + CNC 加工服務平台,讓設備商與開發單位在開案初期即能獲得高效率、高精度的支援,顯著縮短開發周期並提高試作驗機成功率。

 

 

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